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- 是否全新：全新
- 输入电压： AC220V±10%，50Hz
- 工作电压： DC600V
- 真空腔：125×125mm
- 样品杯：64×1
全自动磁控离子溅射仪 型号:M31/GVC-2000全自动磁控离子溅射仪 型号:M31/GVC-2000
要参数
输入电压 AC220V±10%，50Hz
工作电压 DC600V
大功率（主机与机械泵） 450W
可选靶材 金、铂、银、铜、钛、铅等常用金属
真空泵 两级直联旋片式真空泵 1L/s
真空腔 约φ125×125mm
样品杯 φ64×1
整机尺寸（长×宽×高） 424×271×255（mm）
重量（主机） 11 kg
工作环境 温度 5～40℃，湿度<60%
存储环境 温度-10~60℃，湿度<80%
工作气体 Air / Ar
保护功能 过流、真空双保护
要参数
输入电压 AC220V±10%，50Hz
工作电压 DC600V
大功率（主机与机械泵） 450W
可选靶材 金、铂、银、铜、钛、铅等常用金属
真空泵 两级直联旋片式真空泵 1L/s
真空腔 约φ125×125mm
样品杯 φ64×1
整机尺寸（长×宽×高） 424×271×255（mm）
重量（主机） 11 kg
工作环境 温度 5～40℃，湿度<60%
存储环境 温度-10~60℃，湿度<80%
工作气体 Air / Ar
保护功能 过流、真空双保护
全自动磁控离子溅射仪 型号:M31/GVC-2000全自动磁控离子溅射仪 型号:M31/GVC-2000
要参数
输入电压 AC220V±10%，50Hz
工作电压 DC600V
大功率（主机与机械泵） 450W
可选靶材 金、铂、银、铜、钛、铅等常用金属
真空泵 两级直联旋片式真空泵 1L/s
真空腔 约φ125×125mm
样品杯 φ64×1
整机尺寸（长×宽×高） 424×271×255（mm）
重量（主机） 11 kg
工作环境 温度 5～40℃，湿度<60%
存储环境 温度-10~60℃，湿度<80%
工作气体 Air / Ar
保护功能 过流、真空双保护
要参数
输入电压 AC220V±10%，50Hz
工作电压 DC600V
大功率（主机与机械泵） 450W
可选靶材 金、铂、银、铜、钛、铅等常用金属
真空泵 两级直联旋片式真空泵 1L/s
真空腔 约φ125×125mm
样品杯 φ64×1
整机尺寸（长×宽×高） 424×271×255（mm）
重量（主机） 11 kg
工作环境 温度 5～40℃，湿度<60%
存储环境 温度-10~60℃，湿度<80%
工作气体 Air / Ar
保护功能 过流、真空双保护
