1、X1轴
1.1 测量范围：120mm
1.2 分辨率：0.2μm
1.3 检测方法：莫尔光栅
1.4 驱动速度：0.1, 0.2, 0.5, 1mm/S，自定义
1.5 测量方向：向后
1.6 直线度：3μm/100mm
1.7 指示：±（3.5+2L/100）μm
2、Z1轴
2.1 测量范围：24mm
2.2 分辨率：0.2μm
2.3 检测方法：莫尔光栅
2.4 指示：±（3+|4H|/24）μm
2.5 测针方向：向下
2.6 测针抬起：自动
2.7 测针接触：自接触
2.8 测针针尖：25μm硬质合金针尖
3、Z立柱
3.1 行程：320mm
3.2 方式：电动
4、夹具
4.1 综合平台：Y向调整、转角调整
4.2 平口钳：4寸正弦
5、测臂
5.1 长度：200mm
5.2 直径：8mm
6、测针
6.1 类型：单切面
6.2 长度：32mm
6.3 直径：4mm
