??主要特征： * 桥架固定，工作台移动的固定桥式结构，为整机提供了更稳定的基础，并运行时，振动对的影响小 * 柔性同步带系统，兼顾了柔性啮合与刚性轴向传动的优点，高加速度时定位，从而运动的平稳性* 陶瓷Z轴、全花岗岩结构，为计量室环境下的测量提供了稳定的高* Z向采用了可调式气动平衡设计，了机器的动态性能，Z轴性* 标配温度传感器，自动补偿由于温度变化而引起的误差* Y向采用整体式燕尾导轨，了机器的和重复性* 中心驱动系统减少偏摆和扭转，Y向光栅安装于工作台的，阿贝误差小* 机器框架采用花岗岩材料构成，厚重且稳定，显著了整机的刚性，并地减少了振动的影响* 采用HEXAGON高分辨率金质光栅，其热膨胀系数获得PTB 规格型号与技术指标:
注：工作环境为温度（20±1）℃, 湿度为25%-75%
| 型号 | Rumba686 | Rumba8106 | Rumba10128 | |
| 行程（mm） | X轴 | 600 | 800 | 1000 |
| Y轴 | 800 | 1000 | 1200 | |
| Z轴 | 600 | 600 | 800 | |
| 空间尺寸（mm） | Dx | 1036 | 1236 | 1436 |
| 平台（mm） | Ph | 350 | 350 | 350 |
| Py | 1800 | 2000 | 2200 | |
| 支撑（mm） | Sx | 740 | 870 | 1000 |
| Sy1 | 480 | 530 | 580 | |
| Sy2 | 640 | 720 | 790 | |
| 外形尺寸（mm） | Lx | 1766 | 1976 | 2176 |
| Ly | 2005 | 2205 | 2405 | |
| Lz | 3086 | 3086 | 3086 | |
| 承重（kg） | 400 | 400 | 600 | |
| 机器重量（kg） | 4276 | 4980 | 5637 | |
| MPEe（μm） | 1.4+L/450 | 1.5+L/350 | 1.7+L/350 | |
| MPEp（μm） | 1.8 | 1.8 | 1.8 | |
| 光栅尺分辨率（μm） | 0.039 | |||
| 空间移动速度（mm/s） | 520 | |||
| 空间移动加速度(mm/s2) | 1039 | |||
| 流量/供气压力 | 0.1m3min,>0.7MPa | |||
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