陶瓷Z轴、全花岗岩结构,为计量室环境下的测量提供了稳定的高
中心驱动系统减少偏摆和扭转,Y向光栅安装于工作台的,阿贝误差小
Y向采用燕尾导轨结构,了机器的和重复性柔性同步带系统,兼顾柔性啮合与刚性轴向传动的优点,高加速度时定位,从而运动的平稳性
Z向采用可调式气动平衡设计,了机器的动态性能,Z轴性
标配温度传感器,自动补偿由于温度变化而引起的误差
采用HEIDENHAIN高分辨率金质光栅,其热膨胀系数获得PTB。
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