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XL-80激光干涉仪系统主要规格
| 系统性能 | ||
| 线性测量 | ±0.5ppm | |
| 激光稳频 | ±0.05ppm | |
| 分辨率 | 1nm | |
| 移动速度 | 4m/s | |
| 动态采集频率 | 10Hz-50kHz | |
| 预热时间 | <6分钟 | |
| 环境温度 | 0℃-40℃ | |
| 存储温度范围 | -25℃-70℃ | |
| 环境传感器 | ||
| | 范围 | |
| 材料温度 | 0℃-55℃ | ±0.1℃ |
| 空气温度 | 0℃-40℃ | ±0.2℃ |
| 空气压力 | 650-1150mbar | ±mbar |
| 相对湿度（%） | 0-95 | |