采用陶瓷制作X轴驱动装置的导轨
X.Y轴上内建清晰玻璃刻度。(X轴清晰度:0.05μm,Y轴1μm)
装配有高度的测头
装配有多种功能,如:线性补偿功能,圆度补偿功能等
测头和滑道都可轻松替换
在SV-2000S2,SV-3000S4/H4/W4/S8/H8/W8这几个型号中,还提供具有“简便操作”功能的控制台。
型号 |
SV-3100S4 | ||
类型 |
mm |
inch/mm | |
货号 |
100V AC |
178-663 |
---- |
110V AC |
178-663C |
---- | |
120V AC |
178-663A |
178-673A | |
220V AC |
178-663D |
178-673D | |
240V AC |
178-663E |
178-673E | |
货号 |
100V AC |
178-643 |
---- |
110V AC |
178-643C |
---- | |
120V AC |
178-643A |
178-653A | |
220V AC |
178-643D |
178-653D | |
240V AC |
178-643E |
178-653E | |
平移范围 |
100mm(4") | ||
平移线性度 |
0.05μm+1.5L/1000mm[(2+1.5L)μinch] L=测量长度 | ||
垂直位移 |
300mm(11.8")电动 | ||
基本尺寸(W×D) |
610×450mm(24"×17.7") | ||
测头速度 |
测量 |
0.2mm/s(.0008"),0.5mm/s(.008"/s),0.1mm/s(.004"/s), | |
定位 |
可用控制杆0.1mm/s(.004"/s)至5mm/s(.2"/s),可用手工给进 | ||
测量范围 |
800μm[:0.01μm](32000μinch[:.4μinch]) | ||
标准探测器 |
探测方法 |
不同的传输方法 | |
测头 |
测量强度0.75mN:钻石,60°圆锥,测头半径:2μm(79μinch) | ||
轨道 |
硬度,曲率半径:40mm(1.6") | ||
数据分析软件 |
SURFPAK-SV(提供CD-ROM) | ||
操作温度 |
15℃-25℃ | ||
电源 |
100V AC - 240V AC,50/60Hz | ||
主装置尺寸 |
710×450×890mm(27.95"×17.72"×35.04") | ||
主装置重量 |
140kg(308 lds.) | ||
标准附件 |
标准探测器(178-396-2(测量力:0.75mN),178-397-2(测量力:4mN)) |