- 品牌/商标：Rtec
- 企业类型：贸易商
- 新旧程度：全新
- 原产地：美国
双模式三维表面形貌仪是集合了共焦光学形貌仪，WLI白光干涉形貌仪，原子力显微镜，接触和非接触式双模式表面形貌检测
项 目 简 述 | 参数说明 |
1、双模式三维表面形貌仪——共焦 | 可 快速垂直扫描的旋转盘共焦技术。 使用高数值孔径 (0.95) 以及高倍数的 (150X) 3D全视野3D镜头，用以表征坡度分析 (斜率<干涉测量>: 72o vs 44o) 。 具有光学形貌上的横向分辨率，附有5百万自动分辨率的CCD相机， 空间下样可调至0.05um，是表面特征以及形貌的测量的配置。 在测量表面粗糙度/表面反射率上无限制（0.1%- 100%) 应用于透明层/薄膜。 兼容亮视野&暗视野; 光学DIC。 长距离远摄镜头是用以测量高纵横比以及坡度特性的理想之选。 独有的稳定性。
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2、双模式三维表面形貌仪——干涉仪（WLI） | Z向高分辨率, 亚纳米级 兼具相移（PSI）以及垂直扫描（VSI）模式 Z向分辨率可独立放大 四色CCD 相机，用户可自选的LED光源 (白光，绿光，蓝光和红光) 高达五百万像素的可自动分辨的CCD 相机 快速处理器在业界位于水平 自动对焦
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3、双模式三维表面形貌仪——原子力显微镜 | 探针扫描可用于大型模板 X, Y, Z三向可达原子级分辨率 大压电探针扫描XY: 达到 110x110um |
4、双模式三维表面形貌仪——变焦 | 粗糙度表面分析 快速分析 特点：一台设备上集成非接触式白光干涉形貌仪+高原子力显微镜 |
