系统的, Trimos DHM? (数字全息显微镜), 源于在生物医学领域采用的技术，系统本身基于表面结构的物理信息特征分析，采用这种技术用于工业领域表面检查为Trimos专有。它与其它产品相比较的优势在于可以测量反射非常大的表面，镜面抛光后或者很小平面。特别高的测量速度和纳米级的精密测量范围是它的突出优点。只需要几豪秒时间就可以获得一百万点的尺寸图像三维数据. 如此高的测量速度使它完全可以忽略因振动引起的测量问题。它内部的测量头可互换可以使用测头（接触测量）。多样的选择使它在多种工业领域的加工后表面结构测量都可使用如（所有经加工过的表面），应用领域如汽车和航空工业、表面涂敷、聚合涂层、在光学元件、医疗仪器、微型机电系统、半导体研发和质量控制等。
特点：
◆ 测量速度快
◆ 对振动不敏感
◆ 垂向分辨率到纳米级??
◆ 采用激光找正非常容易实现工件定位
◆ 非接触测量，无损检测
◆ 高技术的软件配置
◆ 分析表面形貌和结构
◆ 预先设定测量程序
◆ 二维和三维标准兼容
软件（附加/选项模块）：
NanoWare XT : (2D)用于二维轮廓分析的全套软件
NanoWare XT : (2D)用于二维轮廓分析的全套软件
NanoWare XTT : (2D and 3D)二维三维轮廓分析的先进模块软件
NanoWare PRO : 二维三维轮廓分析的所有模块软件
测量头：
DHM S1 :用于光亮表面粗糙度测量头
DHM S2 :中等范围的表面粗糙度
DIA P1 :有金刚石测头的测量头
标准配置如下：
根据要求配置的仪器，不含测量头
用户手册
电脑和触摸屏
TR Scan 101,无工作台，软件NanoWare LT，仅用于DHM S1 & DHM S2测量头
TR Scan 201,单轴测量工作台，NanoWare LT软件，仅用于DHM S1 & DHM S2测量头
TR Scan 301,双轴测量工作台，NanoWare LT软件，仅用于DHM S1 & DHM S2测量头
TR Scan 102,无工作台，软件NanoWare LT，仅用于DHM S1 & DHM S2测量头
TR Scan 202,单轴测量工作台，NanoWare LT软件，仅用于DHM S1 & DHM S2测量头
TR Scan 302,双轴测量工作台，NanoWare LT软件，仅用于DHM S1 & DHM S2测量头
?技术数据
TRSCAN | 100 | 200 | 300 |
X轴测量范围mm | 100 | 100 | |
Y轴测量范围mm | 100 | ||
Z轴位移范围mm | 240 | ||
工件重量Kg | 20 | ||
仪器重量Kg | 80 |
随时DHM测量头
DHM | S1 | S2 |
Z轴测量范围mm | 5 | 10 |
Z轴分辨率nm | 1 | 2 |
0.5x0.5 | 1x1 | |
水平面分辨率（X,Y）um | 0.8 | 1.6 |
测量距离mm | 6 | 12 |
2维测量速度mm/s | 1 | 2 |
3维测量速度mm/s | 0.5 | 1 |
Measuring head with probe (diamond stylus)
DIA | P1 |
Z轴测量范围um | 500 |
Z轴分辨率nm | 10 |
金刚石测头 | 5 μm, 90° (Standard) or 2 μm, 60° (Option) |
静态测力mN | < 0.5 |
|
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