| 品牌 | TMG | 型号 | TMG200*100 |
| 分辨率 | 0.001MM（mm） | 操作方式 | 程序控制 |
| 仪器型号 | TMG-3020CNC | TMG-4030CNC | TMG-5030CNC | |
| 工作台 | 金属台面尺寸(mm) | 506×356 | 606×466 | 700×450 |
| 玻璃台面尺寸(mm) | 350×280 | 450×350 | 550×350 | |
| 运动行程(mm) | 300×200 | 400×300 | 500×300 | |
| 仪器重量(kg) | 140 | 240 | 290 | |
| 外形尺寸(长X宽X高) (mm) | 770×590×1100 | 950×700×1100 | 970×670×940 | |
| 镜头 | 日本SONY CCD | |||
| X、Y、Z数显解析度 | 1μm | |||
| X、Y坐标示值误差 | ≤(3+L/200)μm | |||
| 电机 | 伺服电机： | 日本 | ||
| 三轴运动速度： | 100mm/s | |||
| 三轴定位： | 0.001mm | |||
| 电源 | AC110V/220V | |||
| 消耗功率 | <100W（不包括电脑） | |||
