MF5000系列气体质量流量计采用微机芯片加工技术和大规模集成电路的生产技术及材料生长技术，传感器的尺寸缩小到了微米量级，使该流量计的灵敏度大大提高。
MF5000系列产品用于各类工业气体测量和生产过程控制。这类流量计均采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感器芯片来制作。本产品适用于各类清洁气体的应用；可用于各类管径（1～22mm）；易安装、无需温度压力补偿、压损小；采用直接测量，并可配以多种信号输出，通过通讯接口实现网络管理功能。
MF5000系列气体质量流量计 资料：
加工定制：是
品牌：ATL
型号：MF5000
类型：质量流量计
测量范围：1-1000（m3/h）
等级：1.5
公称通径：3-8（mm）
适用介质：空气，氧气，氮气，二氧化碳
工作压力：1.6（MPa）
工作温度：60（℃）
MF5000系列气体质量流量计 产品特点
MEMS传感器芯片。
传感器灵敏度高，极小的始动流量，低至8mm／sec。
传感器采用热式能量平衡质量流量原理，直接感应质量流量，无需温度及压力补偿，保障了传感器的高计量。
极快的响应时间，快至10msec。
极低的压力损耗。
在单个芯片上实现了多传感器集成，使该传感器的量程比大大提高。
标准8～24V供电。
与传统的热式质量流量技术相比，具有更加优良的零点稳定性，良好的重复性。
质量流量测量范围宽，可专为客户定制。
LCD可同时显示瞬时流量和累积流量。
可选温度输出功能。
流量计可选配标准工业通讯接口，实现远程网络管理。
可选脉冲输出功能，能与当前流量计管理系统兼容。
体积小，安装方便。
流量计内径可定制为小至1mm，大至22mm（7／8"）。
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