气体质量流量控制仪_MFC300系列气体质量流量控制仪
气体质量流量控制仪 技术参数:
流量规格:0~5,10,50,100,300,500sccm(mL/min)
控制及显示:0.1sccm(mL/min)
准 确 度:±0.05%F.S.
线 性 度:±0.1%F.S.
重复:±0.05%F.S.
工作压差:0~1MPa
耐压:1.1MPa
环境温度:0~65℃
电气连接:DB9
输出信号:模拟量、RS232、RS485、RS422、CAN(数字协议带电气隔离)
电 源:15~40VDC
标准气路接头:M8*1卡套接头、4mm快拧、6mm快拧
气路管径:3~3.2mm、4mm、6mm(外径)
可测量气体种类:Air、He、Ar、N2、O2、H2、NO、CO、CH4、NH3、N2O、NO2、CO2
气体质量流量控制仪 产品特点:
容易安装及维护
支持多种通讯协议
高、高稳定性、极低的零漂
可测控气体种类多
带流量累积量输出
可对气体进行流量控制和流量累积量控制
可配专用控制器
气体质量流量控制仪 优点:
1.智能化全电子式流量仪表;
2.MEMS微机电系统质量流量计(无需温度和压力补偿);
3.测量+/-2%(直接测量,不使用旁路);
4.LCD显示屏(响应时间快,显示刷新时间为125ms);
5.超宽的量程比,30:1的测量范围内均可准确测量;
6.超宽的始动流量,500:1的显示测量;
7.配有RS485通讯模块,配合上位机网络实现集中化管理与控制;
8.分体式显示器,便于隐蔽式安装和方便的现场显示;
9.量程大,可达800SLPM(NL/min)的流量;
10.产品有1/2(4分)和3/4(6分)两种管径,适用范围宽;
气体质量流量控制仪 主体展示:
气体质量流量控制仪 详细参数请致电我们!