质量流量控制器_质量流量控制器品质

　　质量流量控制器_质量流量控制器品质

　　质量流量控制器的英文名字叫“MASS FLOW CONTROLLER”(简称MFC)，它通常由流量传感器、流量调节阀、放大控制电路和分流器控制通道等部件组成。

　　质量流量控制器技术指标：

　　流量规格：0~5,10,50,100,300,500sccm(mL/min)

　　控制及显示：0.1sccm(mL/min)

　　准 确 度：±0.05％F.S.

　　线 性 度：±0.1％F.S.

　　重复：±0.05％F.S.

　　工作压差：0~1MPa

　　耐压：1.1MPa

　　环境温度：0~65℃

　　电气连接：DB9

　　输出信号：模拟量、RS232、RS485、RS422、CAN（数字协议带电气隔离）

　　电        源：15~40VDC

　　标准气路接头：M8*1卡套接头、4mm快拧、6mm快拧/卡套、8mm快拧

　　气路管径：3~3.2mm、4mm、6mm（外径）

　　可测量气体种类：Air、He、Ar、N2、O2、H2、NO、CO、CH4、NH3、N2O、NO2、CO2

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　　质量流量控制器使用过程中应注意：

　　实际使用中发现，当输入的气体不同时控制显示的数值与实际不符，其实原因很简单，因为在MFC行业中，有一种参数叫CF，即气体转换系数（下面简称CF）。而MFC行业中又把N2（氮气）定义为标准气体M。N2的C值为1.00，其他的气体以氮气为中心，分布在0.1到1.4左右。

　　CF大于1.00的代表气体是单原子气体He(氦)、Ar(氩)、Kr(氪)、Xe(氙)。和N2相近的气体有02（氧气）、H2（氢气）、F2（氟）等。0.5以下的有SF6、WF6、SiCl4等。如果是几种气体的混合在一起的话，简单的分析其比率，用各自的CF值计算即可。我觉得如果稍微了解气体的话，就会分出苗条的轻量级和大力士的重量级。虽然有一部分例外，但一般是这样的。

　　假设某台MFC是用N2标定的，但是实际流过的气体是He，实际的流量比N2多。各个厂家的He的CF值稍有不同，但大约都在1.4，所以简单的说就是He气相同示数时，是N2的1.4倍流量。反过来，如果N2流过He的MFC，实际的流量大约是1÷1.4=约0.71，少30%的流量

　　因此控制器发现流量不准时，考虑出厂标定CF是否与你的气源相同。

　　苏州爱拓利电子设备有限公司是一家生产和出口气体质量流量控制与测量设备的厂家。公司自成立以来，始终坚持高起点、高要求引进开发产品，做到产品在技术上同行业不不生产，生产工艺不完备不推广，达不到欧美国家标准的技术不引进。体积小型化、重量轻型化一直是精密仪器发展潮流，我们不断努力使产品达到相同技术，体积更小；达到相同体积，质量轻。在同行业技术上每次创新，我们都付出了巨大的努力，每个用户的赞许，都是对我们工作的肯定。

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