PT2K125-160S是采用压电陶瓷驱动的扫描台,平台内部使用无回差柔性铰链并联导向结构,补偿量小,了平台的运动和的稳定性。平台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈,定位、分辨率和稳定性可以纳米量级,定位稳定时间为毫秒量级。中空式设计,且通孔较大,可更好的集成于显微及扫描系统中。
应用
◆ 光学捕获
◆ 扫描显微镜
◆ 掩模与晶片对准
◆ 扫描干涉仪
◆ 表面计量学
◆ 生物技术
◆ 微操作
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PT2K125-160S是采用压电陶瓷驱动的扫描台,平台内部使用无回差柔性铰链并联导向结构,补偿量小,了平台的运动和的稳定性。平台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈,定位、分辨率和稳定性可以纳米量级,定位稳定时间为毫秒量级。中空式设计,且通孔较大,可更好的集成于显微及扫描系统中。
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◆ 掩模与晶片对准
◆ 扫描干涉仪
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