Zeta3DTM测量系统
ZETA-300
基于ZDotTM点阵技术的3D光学轮廓仪
Zeta的ZDotTM点阵技术是测量各种复杂表面形貌的理想选择，包括透明的多层结构、低反射率、低对比度、高粗糙度或高度落差很大的表面结构，除此之外，ZDot在测量高纵横比的孔和沟时更是有着的效果。ZDotTM点阵技术提供了可能的光路设计，其Z向的光学测量是白光干涉仪和激光共聚焦显微镜所不能的。强大卓越的测量能力加之内置集成的震设施以及精简美观的机械结构使得Zeta-300成为了研究及生产相关应用领域的解决方案。
多功能光学测量模组
Zeta-300测试系统提供多种光学测试技术，满足用户各种应用领域的测试需求：
ZDotTM Z点阵三维成像技术，是Zeta系列产品的标配技术，该技术结合背光和暗场照明以及各种规格的光学物镜，使Zeta3D光学轮廓仪可以分析测量为“困难”的表面结构。
ZIC 干涉反衬成像技术，可对纳米级粗糙度表面成像及测量。
ZSI 白光差分干涉技术，搭配任意物镜可实现Z向埃级分辨率的测量能力。
ZX5 ，ZX100白光干涉技术，Z方向纳米级分辨率的同时，提供大视野范围内的测量和统计分析。
ZFT 膜厚测试技术，集成光谱仪，通过拟合反射光谱测量薄膜厚度
应用领域
Zeta-300 测试系统支持多功能测试选项，根据客户实际需求可配备不同的光学模组、载台、样品台、照明系统及分析软件。高和高重复性的设备性能是科研和工业生产理想的选择。如下为实际应用举例：
LED, PSS & 缺陷监控
PSS 的尺寸、高度和周期
PR和AlN的厚度
AOI缺陷测试及分类
2寸、 4寸和6寸兼容吸真空载台
微流体和MEMS器件结构分析
透明或半透明的多层结构分析
高纵横比结构分析，如深沟壑结构等
可编程测试菜单及自动化扫描
灵活的硬件功能选项
暗场或背光照明系统
金刚石划线标记系统
6物镜自动切换装置
金刚线测量装置
晶圆或光盘倒角测量装置
长工作距离物镜，折射率校正或浸没式物镜
……更多选项
技术规格
产品尺寸(mm)
系统 (长X宽X高)：813 x 940 x 1550 电压: 100 - 230 VAC
显示器：559 x 127 x 407 电流: 4A
总重量：360lbs/164 kg 工作温度: 18-30oC，非冷凝， ±1oC 每小时
光学参数 | |||||
5x | 10x | 20x | 50x | 100x | |
N.A. | 0.15 | 0.3 | 0.45 | 0.80 | 0.90 |
FOV(μm)1 | 1894x1420 | 944x708 | 468x351 | 189x142 | 93x70 |
FOV(μm)2 | 4697x3522 | 2327x1745 | 1169x877 | 466x349 | 234x175 |
性能配置
3D 成像: ~ 1 秒/点 (ZIC)
~ 10 秒/点 (ZSI)
~ 30 秒/点 (ZDot)
像素分辨率: 0.09 μm (0.5x耦合镜 + 100x物镜)
小Z轴步距: 2 nm (压电陶瓷传动)
13 nm (精密丝杠传动)
Z轴分辨率： 0.1? (ZSI)
13 nm (ZDot)
重复性3： ±15 nm (1σ)3 （或±1%）
系统配置
相机选项： 640x480, 1024x768, 1280x960
1920x1440
总放大率： 35,000x (光学和数字放大)
系统光源： 2个大功率白光LED
自动载台： 200mm x 200mm (XY 方向)
Z轴测试范围： 40mm标配（100mm可选）
