Zeta三维光学轮廓仪
Zeta-20
卓越的三维成像和测量
基于ZDot?技术，Zeta-20可以对近乎所有材料和结构进行成像分析，从超光滑到高粗糙度、低反射率到高反射率表面、透明到不透明介质。Zeta-20使用模块化设计理念，为用户提供了一系列的硬件和软件选项来满足各种不同的测量需求，所有硬件安装和操作都简单易用。
多功能光学测试模组
Zeta-20提供多种光学测试技术满足用户各种领域测试需求
ZDotTM Z点阵三维成像技术是Zeta所有系列产品的标配技术，Z点阵独特的明暗场照明方案结合不同物镜帮助客户测量最“困难”的表面。
ZIC 干涉反衬成像技术，实现纳米级粗糙度表面的成像及分析。
ZSI 白光差分干涉技术，垂直方向分辨率可达埃级。
ZX5 白光干涉技术，大视场下纳米级高度的理想测量技术。
ZFT 反射光谱膜厚分析技术，集成宽频反射光谱分析仪，可测量薄膜材料的厚度、折射率和反射率。
测量通道和
ZDOT | ZX5 | ZiC | ZSi | ZFT | |
粗糙度 > 40nm | √ | ||||
粗糙度 < 40nm | √ | ||||
大视场、Z方向高分辨率 | √ | ||||
15nm - 25mm台阶高度 | √ | ||||
5nm - 100μm台阶高度 | √ | ||||
< 10nm台阶高度 | √ | ||||
缺陷：尺寸 < 1μm，高度 < 75nm | √ | √ | |||
缺陷：尺寸 > 1μm，高度 < 75nm | √ | ||||
30nm < 薄膜厚度 < 15μm | √ | ||||
薄膜厚度 > 15μm | √ |
光学系统参数 | |||||||||
标准物镜的光学参数如下。其它可选项：长工作距离物镜，浸没物镜，TTM物镜，0.63X和1X耦合镜。
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NA | Working distance (mm) | Z resolution for ZDot (μm) | XY resolution (μm)* | Optical resolution (μm) | FOV with 0.35X coupler | FOV with 0.5X coupler | |||
1/3” camera | 2/3” camera | 1/3” camera | 2/3” camera | ||||||
2.5X | 0.08 | 10.7 | 22 | 3.60 | 4.20 | 5364 × 4024 | 9394 × 7044 | 3788 × 2840 | 6614 × 4960 |
5X | 0.15 | 20.0 | 5.9 | 1.80 | 2.20 | 2682 × 2012 | 4697 × 3522 | 1894 × 1420 | 3307 × 2480 |
10X | 0.30 | 11.0 | 1.5 | 0.90 | 1.10 | 1335 × 1000 | 2327 × 1745 | 944 × 708 | 1644 × 1233 |
20X | 0.45 | 3.1 | 0.5 | 0.45 | 0.75 | 668 × 500 | 1169 × 877 | 468 × 351 | 822 × 616 |
50X | 0.8 | 1.0 | 0.1 | 0.18 | 0.42 | 267 × 200 | 466 × 349 | 189 × 142 | 328 × 246 |
100X | 0.9 | 1.0 | 0.013 | 0.09 | 0.37 | 133 × 100 | 234 × 175 | 93 × 70 | 164 × 123 |
150X | 0.9 | 1.0 | 0.013 | 0.06 | 0.37 | 88 × 66 | 156 × 116 | 62 × 46 | 109 × 82 |
Zeta-20标配系统 | 硬件和软件可选项 | |
测_x000B_试_x000B_系_x000B_统 | 超大深度成像 | 标准物镜：2.5×，5×，10×，20×，50×，100×，150× |
标配Z点阵(ZDot) | 特殊物镜：长工作距离，浸没物镜，TTM物镜 | |
双高亮度LED光源 | 白光干涉模组（ZX5)：X5物镜，压电陶瓷载台 | |
真彩色CCD相机(1/3"),1024×768像素 | Nomarski模组(ZIC)：棱镜，起偏器，检偏器 | |
30帧/秒，数据采集 | 反射光谱膜厚测试模组(ZFT) | |
单耦合镜，四种规格可选 | 白光差分干涉技术(ZSI)：0.5?分辨率，0.1nm台阶高度测试能力 | |
5物镜手动转台 | 高分辨率相机(1/2",1920×1440像素) | |
自动聚焦 | 背光LED | |
25mm垂直扫描/次(20×，长工作距离) | 自动物镜识别/6物镜自动转台 | |
40mm垂直工作距离(可扩展至100mm) | 耦合镜：1×，0.63×，0.5×，0.35× | |
载_x000B_台_x000B_和_x000B_卡_x000B_盘 | 手动XY载台(100mm×100mm) | 手动150mm×150mm载台 |
高Z轴传动 | 自动100mm×100mm载台 | |
可配置载物台(开放设计) | 压电陶瓷载台（0.2nm步距，100μm传动距离） | |
倾斜载台(±20 deg) | ||
高倾斜载台(±6 deg) | ||
手动旋转载台 | ||
卡盘适用尺寸：2"-8"圆形，5"或6"方形 | ||
硬盘卡盘：65mm-95mm | ||
适于背光卡盘 | ||
可定制特殊卡盘 | ||
软_x000B_件 | 非接触测量台阶高度，表面粗糙度，特征尺寸，如直径，面积，体积等 | ZMORF先进的数据分析软件 |
允许同一视场中存在超低反射率(﹤0.5%)和超高反射率(﹥85%)区域 | 4"晶圆曲翘度测量 | |
透明/半透明材质测量 | 膜厚测试光谱仪，可见光(适用于膜厚30nm-10μm) | |
透明或半透明多层结构分析 | 自动图像拼接 | |
高粗糙度和高深宽比结构分析 | 自动多点量测 | |
自由调节水平测量 | 先进软件分析包 | |
Ra，Rq，Rz，Rsk，Rk以及其它ISO4287参数 | 离线分析软件 | |
Sa，Sq，Sz，Ssk，Sk以及其它ISO25178参数 | 多种应用Recipe： | |
基于颜色和高度的区域筛选分析 | PSS量测 | |
三维成像软件，可进行滤波，真假色切换，缩放，旋转等 | 金刚线 | |
定制的格式 | 金刚石研磨垫 | |
简易文件管理和多格式数据输出 | 太阳能单晶/多晶绒面 | |
时间：30秒内/点 | 太阳能细栅线 | |
太阳能主栅线 | ||
太阳能电池片曲翘度 |
