轻质量的外罩减少了整机的重量，从而了效率。
获得的X 向“精密三角梁”设计增强了整机的刚性质量比，从而了测量的和运行的稳定性。
厚重稳固的花岗石工作台减少了振动带来的响。
燕尾式导轨整体加工在花岗石平台上(该技术获得)，了机器的和重复性。
电机远程放置减少了移动质量，了速度，也避免了电机发热对机器性能带来的影响。
获得的气动平衡设计，了机器的测量性能。
采用的高分辨率金质光栅尺，其热膨胀系数获得PTB。
控制器固定在主机一侧，便于整体的移动。
获得的X 向“精密三角梁”设计增强了整机的刚性质量比，从而了测量的和运行的稳定性。
厚重稳固的花岗石工作台减少了振动带来的响。
燕尾式导轨整体加工在花岗石平台上(该技术获得)，了机器的和重复性。
电机远程放置减少了移动质量，了速度，也避免了电机发热对机器性能带来的影响。
获得的气动平衡设计，了机器的测量性能。
采用的高分辨率金质光栅尺，其热膨胀系数获得PTB。
控制器固定在主机一侧，便于整体的移动。
