特点: LSM-501S
• 超高测量，在全测量范围(0.05mm
-10mm) 内直线度达±0.5μm，窄测量 范围
内达±(0.3+0.1ΔD)μm。
• 超高重复达±0.05μm。
LSM-501S 技术参数
测量范围: 0.05 - 10mm
分辨率: 0.00001 - 0.01mm 可选
(.000001" - .0005") ( ): 英制／公制型
20 ºC 时的直线度*: 全范围: ±0.5μm
窄范围: ±(0.3+0.1ΔD)μm
重复 (±2σ): ±0.04μm
工件定位误差: ±0.5μm
测量区域: 2x10mm (ø0.05 - ø0.1mm)
4x10mm (ø0.1 - ø10mm)
激光波长: 650nm, 可见光
扫描速度: 3200scans/s
激光扫描速度: 113m/s
激光可接收标准: IEC 或 FDA
* 在测量区域中心
ΔD= 校正规和工件的直径差
