技术参数:测量范围:X轴 505mm;Y轴 405mm;Z轴 405mm.测长系统基准:反射光栅 .分辨率: 0.0001mm.导向方式: 各坐标轴上的空气轴承.测量(20℃&plun;1℃) ISO 10360-2: E=(1.9+3L/1000)μm (当使用TP200时) ,E=(1.7+3L/1000)μm (当使用SP600时), SI/AEB89.1.: 球杆性能=9μm ,重复=3μm .驱动速度:CNC模式每轴定位时驱动速度:8mm/s至250mm/s(三轴移动时驱动速度430mm/s),测量时驱动速度1mm/s至3mm/s,操纵杆模式 0至80mm/s((模式) 0至3mm/s(低速模式) 0.05mm/s(微进给模式).测量速度:8mm/s .测量加速度:各轴加速度980mm/s2(三轴移动时合成加速度1697mm/s2).工件高度:545mm.重量:180kg.质量:515kg.气压:0.4Mpa.空气消耗量 50升/分(在正常条件下).