主要特征
l采用L型移动桥式，由两到三个高等高块稳固支撑Y向槽型导轨，左立柱与横梁、滑架、鞍座共同组成移动桥，运动部件采用高硬度轻质铝合金材料
l X轴和Z轴均采用超精加工及经过硬质阳极化处理的挤压轻质铝合金
l Y轴采用一体化槽型花岗岩导轨
l Z轴采用可调式气动平衡设计，提高了机器的动态性能，提升Z轴安全性
l各运动轴均采用高性能直流伺服测速机组和单级多楔带减速系统
l三轴采用预载荷空气轴承，运动更平衡，导轨永不受磨损
l采用HEXAGON高分辨率金质光栅，分辨率高达0.039vm
l测量机三轴及工件都配置温度传感器，实时监控温度变化
机器型号 |
| Function plus 10158 | Function plus 10218 | Function plus 10308 | Function plus 122110 | Function plus 123010 | Function plus 152110 | Function plus 153010 | Function plus 152112 | Function plus 153012 |
行程（mm） | X | 1000 | 1000 | 1000 | 1200 | 1200 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
Y | 1500 | 2100 | 3000 | 2100 | 3000 | 2100 | 3000 | 2100 | 3000 | |
Z | 800 | 800 | 800 | 1000 | 1000 | 1000 | 1000 | 1200 | 1200 | |
测量空间（mm） | Dx | 1364 | 1364 | 1364 | 1564 | 1564 | 1864 | 1864 | 1864 | 1864 |
Dz | 151 | 151 | 151 | 151 | 151 | 151 | 151 | 151 | 151 | |
Dz1 | 951 | 951 | 951 | 1151 | 1151 | 1151 | 1151 | 1351 | 1351 | |
平台（mm） | Ph | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 |
Py | 2000 | 2600 | 3500 | 2600 | 3500 | 2600 | 3500 | 2600 | 3500 | |
承重（kg） |
| 1300 | 1800 | 2000 | 3000 | 3500 | 3000 | 3500 | 3000 | 3500 |
机器重量（kg） |
| 5500 | 6500 | 9500 | 7600 | 11000 | 8600 | 13000 | 8800 | 13200 |
MPEe(μm) |
| 3.1+L/300 | 3.5+L/300 | 4.0+L/300 | 5.0+L/300 | |||||
MPEp(μm) |
| 3.3 | 3.7 | 4.2 | 5.2 | |||||
光栅尺分辨率(μm) |
| 0.078 | ||||||||
空间移动速度(mm/s) |
| 433 | ||||||||
空间移动加速度(mm/s2) |
| 1039 | ||||||||
流量/供气压力 |
| 2.5dm3/s(150 |
注：工作环境为温度（20±2）℃,湿度为45%-75%
