说明：
uKSA系列超高精密电动平移台，按照行程分为50、100、150、200mm等四款产品，是卓立汉光开发的新型电移台，该系列电移台技术指标达到国际水平。如：闭环分辨率0.1μm，每100mm行程，直线度、平直度小于6μm。该系列产品配合卓立的控制器，定位于超高要求的领域应用，如：超精密的激光加工、超精密的三维扫描测量等。
uKSA系列超高精密电动平移台特点：
● 铸钢底座，基准面精密磨削，保证整体性能稳定
● 内置进口超高精密光栅尺，闭环分辨率可达0.1μm
● 采用进口超高等级滚珠丝杠，可实现超高定位
● 采用进口超高等级交叉滚柱导轨，具有超高运动性能
● 标配三相步进电机，有效降低电移台运行时的振动和噪音
uKSA系列超高精密电动平移台电机接线图
uKSA系列超高精密电动平移台选型表：
型号 | uKSA50 | uKSA100 | uKSA150 | uKSA200 | |
行程(mm) | 50 | 100 | 150 | 200 | |
滚珠丝杠导程(mm) | 4 | ||||
电机型号 | FHB366-D(三相) | ||||
闭环分辨率(μm) | 0.1 | ||||
速度(mm/s) | 40 | ||||
重复定位(μm) | ＜2 | ||||
回程间隙(μm) | ＜1 | ||||
运动直线度(μm) | ＜6 | ＜10 | |||
运动平直度(μm) | ＜6 | ＜10 | |||
自重(Kg) | 8.5 | 10.5 | 13.5 | 15 | |
中心负载(Kg) | 30 | ||||
