- 产品品牌:
- 美国MKS
- 产品型号:
- 910
- 工作压力:
- 1500torrMPa
紧凑型
1,910系列传感器保函一个直读式压电传感器和一个独特的MICROPIRANI传感器
2,测量范围从0.0001-1500torr
3,具有温度补偿功能,在大的测量范围中具有高的测量
4,有别于传统的PIRANI压力计,910系列组成部分的MICROPIRANI单元制作在一个一平方毫米硅芯片,能在很小的体积内进行压力测量
5,传感器敏感部分的尺寸很小,能测量从常压到10-5TORR
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大连瑞闻科技有限公司
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经营模式:工厂
主营产品:MKS流量计、MKS压力计,真空泵、,ANEST干泵,瓦里安罗茨泵,膜厚仪,KOSAKA台阶仪,扩散泵,MKS流量控制器,VARIAN检漏仪
紧凑型
1,910系列传感器保函一个直读式压电传感器和一个独特的MICROPIRANI传感器
2,测量范围从0.0001-1500torr
3,具有温度补偿功能,在大的测量范围中具有高的测量
4,有别于传统的PIRANI压力计,910系列组成部分的MICROPIRANI单元制作在一个一平方毫米硅芯片,能在很小的体积内进行压力测量
5,传感器敏感部分的尺寸很小,能测量从常压到10-5TORR