- 品牌/商标:SANWA
日本SANWA原装进口压力开关,型号
SVS-6シリ-ズ(絶対圧基準高真空スイッチ)
0.7~20kPa(5~150Torr)という高真空スイッチです。
真空内検出素子として、ベロ-ズ内部を高真空状態で密封したものを使用している為気圧の変動を受けにくい構造になっています。
半導体製造装置、化学分析装置、真空蒸着装置等に数多く使用されています。
取りつけは、フランジ型となっております
SVS-6 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
標準型絶対圧基準高真空スイッチです。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
見たい方向の矢印にマウスを合せてください | |||||||||||||||||||||||||||||||||
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標準仕様 単位: kPa (Torr) | |||||||||||||||||||||||||||||||||
SVS-6 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
圧力調整範囲 | 0.67~20 (5~150) | ||||||||||||||||||||||||||||||||
開閉圧力差 | 0.67~13 (5~100) | ||||||||||||||||||||||||||||||||
耐圧力 | 150 (1.5kg/cm2) | ||||||||||||||||||||||||||||||||
標準設定 | 0.67-1.33(5-10) | ||||||||||||||||||||||||||||||||
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